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在電子元件制品的制造過(guò)程中，微粒子污染對(duì)成品率有重大影響，故應(yīng)在過(guò)程中嚴(yán)格控制微粒子的數(shù)量，遵守“不攜入、不發(fā)生、不儲(chǔ)備、除去”四項(xiàng)基本原則以防止微粒子污染。凈化車(chē)間內(nèi)的浮游微粒子濃度，使用性能好的過(guò)濾器即可容易達(dá)到零水平，實(shí)際的生產(chǎn)現(xiàn)場(chǎng)由于作業(yè)者、機(jī)器、周邊機(jī)械的發(fā)塵及基板運(yùn)送時(shí)所接觸的零件材料的發(fā)塵等，在制造品周邊揚(yáng)起了少許的微粒子，因而造成了元件清潔面的粒子污染。

在凈化車(chē)間內(nèi)不攜入微粒子的方法有：作業(yè)員進(jìn)入凈化車(chē)間前，機(jī)臺(tái)、零件攜入前應(yīng)進(jìn)行清潔處理;進(jìn)入凈化車(chē)間者在更衣室要穿著不發(fā)塵、不產(chǎn)生靜電的具特殊導(dǎo)電性纖維材質(zhì)的無(wú)塵服、帽、鞋、手套、口罩等。通過(guò)風(fēng)淋室時(shí)利用高速干凈空氣除去附在衣服表面的粒子后，才能進(jìn)入凈化車(chē)間。機(jī)器及材料帶進(jìn)凈化車(chē)間前，應(yīng)盡可能在密封狀態(tài)下帶進(jìn)凈化車(chē)間前室保養(yǎng)后用超純水擦拭，經(jīng)風(fēng)淋室吹淋后才進(jìn)入凈化車(chē)間。凈化車(chē)間中須全程穿戴密閉式安全帽及佩戴附有filter的排氣用小型fan于腰間。

在控制**大污染源--人在凈化車(chē)間內(nèi)的微粒子發(fā)塵量的同時(shí)，也應(yīng)控制第二大污染源—制造機(jī)臺(tái)的發(fā)塵量。因物品在移動(dòng)時(shí)，所產(chǎn)生的摩擦及接觸剝離會(huì)造成發(fā)塵，而物品在移動(dòng)時(shí)也會(huì)有微粒子的發(fā)生。故為了控制發(fā)塵量達(dá)到**小限度應(yīng)采取以下對(duì)策：

減少接觸剝離發(fā)塵的動(dòng)作形態(tài);

采用磨耗發(fā)塵小的材質(zhì);

采用發(fā)塵小的潤(rùn)滑油;

機(jī)臺(tái)應(yīng)用空壓浮上的非接觸化工作原理。

在**高等級(jí)的凈化車(chē)間中從口板到地面，**除去微粒子的空氣須在0.3-0.4m/s的速度作垂直向下流動(dòng)。這是在約10秒內(nèi)將室內(nèi)空氣和**過(guò)濾空氣**交換所計(jì)算出來(lái)的數(shù)值。同時(shí)，空氣的流向也應(yīng)該要有**的控制才行。特別要保障氣流的流通路徑暢通無(wú)阻，因?yàn)樵诹魍窂街杏姓系K物的話(huà)，容易產(chǎn)生空氣空氣渦流而形成空氣的滯留區(qū)域，使得附近已發(fā)生的微粒子無(wú)法快速排除而長(zhǎng)時(shí)間漂流在凈化車(chē)間內(nèi)，而一部分會(huì)附著在周邊機(jī)器設(shè)備的表面而引起污染。

控制氣流可防止微粒子累積，但對(duì)于帶電表面的微粒累積就無(wú)法防止。為了防止由靜電吸附而引起的微粒附著，通常在凈化車(chē)間內(nèi)會(huì)使用帶電程度在數(shù)十伏以下的導(dǎo)電性材料。而對(duì)于制造品本身的帶電，則采用帶電程度很少的搬送形態(tài)及接觸部品材料，并藉由除電裝置進(jìn)行除電。

在無(wú)法避免大量微粒子發(fā)生的機(jī)臺(tái)中，為了不讓凈化車(chē)間內(nèi)產(chǎn)生微粒子，因此直接做對(duì)外排氣的動(dòng)作，即所謂的局部排氣。針對(duì)排氣的對(duì)策如下：由于導(dǎo)入同量的外氣是必要的，但會(huì)伴隨大量的能源消耗。所以無(wú)法說(shuō)是**理想的對(duì)策。因此盡可能地在壓縮排氣量的同時(shí)，不僅僅是向凈化車(chē)間外排氣，而應(yīng)采用將除去粒子后的空氣再回流到凈化車(chē)間內(nèi)之對(duì)策。